日期:2020-04-23 浏览量:2251
玻璃基板:
使用等离子体技术,对材料表面进行轰击,可有效去除表面污染物,使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角最低可小于5度,为下道工序的进行奠定良好基础。
阳极表面改性:
用等离子体技术对发电各层极进行表面改性,可有效优化其表面化学组成,大大降低方块电阻,从而有效提高能量转换效率,改善器件的光伏性能。
涂保护膜前处理:
硅片表面非常光亮,会反射掉大量的太阳光。因此,在其上沉积一层反射系数非常小的氮化硅保护膜是非常必要的。通过采用等离子体技术,可活化硅片表面,大大提高其表面附着力,使氮化硅与硅片结合更牢固、不易脱落。