MFC知识（二）
日期：2020-07-16 浏览量：2486
6.质量流量计的缺点是什么? 使用质量流量控制器最害怕什么?
相对廉价的转子流量计来说, 质量流量计的主要缺点就是价格比较昂贵。一般使用质量流量控制器要注意四点:
第一：粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
第二：液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
第三：使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
第四：在使用强腐蚀性、易燃易爆、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是最重要的。
7.质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于最低值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于最高值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
8.质量流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 第一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 第二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 第三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围(见图4的高压工作示意图)。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
9.使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等), 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。
10.质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡胶; 三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要采用全氟橡胶。
11. 选择产品和订货时应当注意什么？
这一点关系到用户的切身利益，涉及的问题也比较多，因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的量程
A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量（质量流量）。
B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表，将您所用气体的质量流量值换算成与氮气（标定气体）等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定，请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题，以下还有进一步解答。
C. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程，您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的，如果实际流量较小而量程值选取过大，则测量值的相对误差较大。
(3) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。
质量流量控制器（MFC）除最大工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。
(4) 注意选择合适的精度指标
准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求最高，应考虑自己的实际需要。
(5) 注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求，用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时，还应注意其响应过程及动态特性。
(6) 注意对安装位置有无要求
有的厂家的产品要求必须水平位置安装。
(7) 注意使用气体和适用范围
MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质（特别是使用对腐蚀性气体）情况等均有一定适用范围，请注意阅读说明书或向厂家咨询。
(8) 注意接头形式
通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于高端应用。
(9) 订货应注明：
产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体（特别是腐蚀性气体）、接头形式和数量。
