MFC知识（四）
日期：2020-07-20 浏览量：2687
18. MFM/MFC的使用方面有什么注意事项？
(1)注意阅读产品说明书及有关资料
(2) 注意轻拿轻放妥善保管
MFM/MFC比较精密，应避免受到撞击和强烈振动。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管。
(3) 注意系统设计
用户购买MFM/MFC后，往往要组建一个系统。建议在系统设计时，不要仅仅考虑功能的实现，还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素。以下给出几点具体建议：
A. 注意加装过滤器，以净化气源，延长MFM/MFC的使用寿命。
B. 对于反应系统，建议在MFC的出气端加装单向阀，以防止异常情况下反应物倒流损坏 MFC。
C. 对于高压系统，应在MFC的下游加装背压阀（或其它节流装置）及压力表，以便于保证MFC的工作压差。
D. 对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体，应特别注意系统的密闭性（检漏时不要忽视减压器），必要时设计吹洗旁路，随时进行氮气吹洗或正压保持。
E. 对于要求比较高的气路系统, 注意气路接头尽量减少并采用VCR等接头。对于使用有害气体的系统，必须严格检漏。气路柜应有排风系统, 防止对人员和设备的损伤。
F. 有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题，例如采用单点接地。
G. MFM/MFC的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零，并安全可靠。
H. 对可靠性要求极高的系统，应注意冗余设计。
(4) 注意正确使用操作
对于比较复杂的系统或使用有害气体的系统，应当制定完善的安全操作规程, 防止发生误操作。
(5) 注意使用气体与流量计的密封材料相适应
流量计通常采用的密封材料是氟橡胶，能适合大多数气体的使用，包括HCL这样的强腐蚀性气体。但对于氨气，必须使用耐氨橡胶；对于有机溶剂类气体，如丙酮、甲苯等，必须使用硅橡胶；对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质，必须使用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。
(6) 注意定期标定
质量流量计原则上应当定期标定。
19. 能不能自己改MFM/MFC的量程？改量程应注意什么？
更改MFM/MFC量程需要更换分流器阀口等部件, 还要进行量程标定, 因此用户不能自己更改量程。改量程一般应在生产厂或指定维修站进行。如果您觉得量程没选好，应与供货商和厂家联系。
改MFM/MFC量程时, 还要注意的流量显示仪是否也要调整。如果流量是按百分比方式显示的，则显示仪不用改动；如果流量是按SCCM或SLM显示的，则一般需对流量显示仪进行调整，以适应新的流量量程。也可以不调整流量显示仪，只对流量显示值乘以一个修正系数进行修正:
修正系数 = 新满量程值 / 原满量程值。
改流量显示仪的问题，请仔细阅读有关流量显示仪的说明书, 如果有改量程的说明, 可自己按要求更改。若没有说明, 请和厂家联系。
20. 模拟式MFC怎样和计算机相连接？
计算机可以直接和MFC相连，也可以通过流量显示仪和MFC相连。
对于模拟的MFC, 一般需要在计算机上配A/D﹑D/A转换板, 模拟/数字转换用于接收流量测量值, 数字/模拟转换用于给出0-5VDC流量设定信号，这种转换板在工业控制产品市场上很容易买到；如果是MFC直接与计算机连接，需要用户自己提供±15V电源（要求电源抗干扰能力要强）；将“设定”线接计算机D/A输出；将“流量检测”线接计算机A/D输入端；MFC信号地与计算机信号线连结即可。
如果MFC通过流量显示仪与计算机连接，将流量显示仪的“外设”线接计算机D/A输出；将“流量检测”线接计算机A/D输入端；显示仪的信号地与计算机信号线连结即可。
当然, 另外还需要配相应的软件。
21. 数字化质量流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?
数字化质量流量控制器起源于上世纪八十年代末期, 现在在国外, 有逐步普及的趋势。在国内，已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。
数字化质量流量控制器有两种类型, 一种是数字模拟兼容产品, 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15V电源, 输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外, 还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时, 可以直接替换模拟式MFC, 无需做其它更改。全数字化类型产品通常采用24VDC单电源, 没有模拟输入输出信号, 只有现场总线通讯信号。
数字化质量流量控制器内置MCU多功能微处理器, 可以对采集到的流量信号进行数字化处理, 进行温度线性校正, 具有比模拟式产品更高的精度和线性性能。数字化的PID控制功能, 能提高稳定性和智能化地改变响应特性。串行通讯, 使MFC更便于进行计算机系统控制。数字化智能化的MFC逐步替代全模拟的MFC, 这是技术发展的必然潮流
