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常压等离子体设备是如何构造及工作的?

日期:2019-12-14   浏览量:1933





中心电极负电极形成了一个放电区

等离子发生器220V电压转换为高频电压(最高可达 10 kV) 

电源电压工艺气体通过弹性管道被输送至放电区中。

空气气流电弧 中所产生的活性粒子 (i+, e-, r*) 从放电区带出。(等离子体喷射法)

该活性气体通过专门的成型喷嘴汇聚到待处理的工件上



常压等离子体技术中,气体在常压下借助高电压被激发,并点燃等离子体。借助压缩空气从喷嘴中将等离子体喷出。共分为两种等离子效应:

活化和超精细清洗:将通过等离子射流中所含的活性粒子进行。

经压缩空气加速的活性气体射流:由此还可以去除表面上 松散的、附着性颗粒 。

通过改变诸如处理速度和至基材表面的距离之类的工艺参数,可以对处理结果造成不同程度的影响。