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真空等离子体设备是如何构造及工作的？
日期：2019-12-14 浏览量：1717
在真空等离子体技术中，通过提供能量激发真空中的气体。这会产生高能量的离子和电子，以及其他活性粒子，并形成等离子体。从而极其有效的使表面发生改变。共分为三种等离子效应：
微喷砂：通过离子轰击去除表面。
化学反应：电离气体与表面发生化学反应。
紫外线辐射：通过紫外线辐射断开长链碳化合物。
通过改变工艺参数如压力、功率、工艺时间、气体流量和气体成分，等离子体的作用方式也会随之发生改变。这样，便可以在一个单独的工艺步骤中实现多种效果。
等离子体可去除表面的脱模剂（包括硅酮和油）。其会受到例如氧气的化学腐蚀，并转化为挥发性化合物。通过负压和表面加热，脱模剂及其残余物会部分蒸发。通过等离子体中的高能量粒子，脱模剂分子 会裂解为更小的分子碎片，并借此被抽吸出来。此外，还会在原子层上产生“微辐射效应”，紫外线辐射可以裂解脱模剂。
无论是新生产还是存积的产品，大多都存在不可见的沉积物，例如：油脂、油、硅酮、水分或氧化层。为了能够毫无问题地对表面进行涂覆，必须确保不含此类 LABS（油漆润湿缺陷物质），通过等离子清洗可以实现这一点。
