济南艾普斯科技有限公司专注 于等离子清洁设备的制作与销 售，倡导突破性的创新
艾普斯电子科技（济南）有限公司
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日期：2020-01-10 浏览量：1697
在IC芯片制造领域中，等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺，不论在芯片源离子的注入，还是晶元的镀膜，亦或是我们的低温等离子体表面处理设备所能达到的：在晶元表面去除氧化膜、有机物、去掩膜等超净化处理及表面活化提高晶元表面浸润性。
