产品详情
1、机台型号: VP-100(实验用机)
2、整机规格: 600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
3、真空室规格: 200(W)×200(H)×200(D)mm
4、电极规格: 190 ×150×2层
5、电源系统: 1KW等离子体发生源(可选13.56MHz)
6、控制系统: 触摸屏+PLC自动控制
7、进气系统: 2路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。
应 用:适用于印制线路板行业,半导体IC领域,塑胶高分子材料领域,汽车电子行业,航空工业等。
1、印制线路板行业:高频板、多层板、软板、软硬结合板表面活化、清洁;软板补强前活化;
2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗;
3、塑胶高分子材料领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
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多年专业生产等离子设备,持续优化开发,铸就高效等离子产品系列。
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