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等离子清洗机的真空技术
日期：2020-04-26 浏览量：1513
在口语中也将真空称之为“低压”。
在物理定义中，还称之为空间中不存在的物质。在真空技术中，相关的单位是Pa。
绝对表示，压力是从标准压力 101325 Pa开始提供的。在考虑到这一点的情况下，绝对真空为 0 Pa。若给出的压力是相对压力，则绝对真空为 -101325 Pa。
差压是指两个测量点之间的压力。
在真空技术中，此压力通常作为绝对压力给出。
常用真空计量单位还有 mbar 和 mtorr ：
1 mbar = 100 Pa ；
1 torr = 133 Pa 。
根据不同的真空范围划分为以下四个区间：
粗真空 (GV) 101325 ~ 100 Pa
精真空 (FV) 100 ~ 0.1 Pa
高真空 (HV) 0.1 ~ 1E–5 Pa
超高真空 (UHV) 1E–5 ~ 1E–12 Pa
艾普斯（APS）电子科技的VP系列真空等离子设备通常在粗真空和精真空下工作。但是，针对特殊应用用途，也可以使用高真空设备。
