材料清洗：等离子体技术可为所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案。此外，还能分解由分子构成的残留污染物。
材料活化：表面具有良好的润湿性，是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。
材料蚀刻：等离子体技术可用于各向异性和各向同性蚀刻。通过化学蚀刻进行各向同性蚀刻，通过物理蚀刻进行各向异性蚀刻。
材料涂覆：使用低压等离子体，可以改良具有不同涂层的工件。为此，会将气态和液态原材料输送到真空腔室中。