- 真空等离子体表面处理
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产品详情
1、机台型号： VP24L---VP40L
2、机台整机规格： VP24L:650(W)×1240(H)×580(D)mm
VP40L:750(W)×1550(H)×650(D)mm
3、电极板规格： VP24L，6层平板式电极板（240(W)×270(D)mm）
VP40L，8层平板式电极板（330(W)×315(D)mm）
4、控制系统： 触摸屏+PLC控制
5、真空测定系统： 皮拉尼真空计
6、气体计量系统： MFC
7、气体路数： 2-5路进气、1路放空
8、等离子发生器： 500W-1KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz）
9、工作气体： 2-5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
应 用：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，塑胶高分子材料领域，汽车电子行业，航空工业等。
1、印制线路板行业：高频板、多层板、软板、软硬结合板表面活化、清洁；软板补强前活化；
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；
3、塑胶高分子材料领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
产品服务
为您提供产品技术咨询、设计选型、百分百按时交货，一站式为您服务。
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多年专业生产等离子设备，持续优化开发，铸就高效等离子产品系列。
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